Tevhid Mertebeleri ikidir;
1- Fenafillah Mertebeleri
2- Bekabillah Mertebeleri

Fenafillah Mertebeleri üç makamdır.
1- Tevhidi Ef al
2- Tevhidi Sıfat
3-Tevhidi Zat

Bekabillah Mertebeleri ise dört makam olarak isimlendirilir.
1- Makamı Cem
2- Hazretül Cem
3- Cemül Cem
4-Ahadiyet (bu makam yalnız Peygamber efendimize ait olduğu için telkin edilmez. Edilse bile anlaşılmaz.)

TEVHİDİ EFAL: Fenafillah mertebelerinin başlangıcı olup fiil ve işlerin birliği demektir. Bir salikin bu mertebeye gelebilmesi için her Nefeste daimi zikirle kalbinin mutmain olması. Fecr Suresi 27-28. Ayetlerindeki: Ey mutmain olmuş nefis dön Rabbına hitabına mazhar olarak Tevhidi Efal telkin ve talim edilir. Bu mertebede salike 4 şuhud gösterilir. 1- Tevhidi Ef al 2- Fenayı Efal 3- tecelli Efal 4- Cennetül Efal veya irfan Cennetidir. Rabıtası da La Faile illallahtır. (Allah tan başka Fail (halkedici) yoktur.) Salik, Enfüsde, Afakta, sükûn ve hareket halinde bütün fiilleri birleyerek, bunların hepsini Hakka nispet eder. Fiiller her ne kadar iyi ve kötü fiiller diye isimlendirilse de iyilik ve kötülükler bizler içindir. Yoksa Hakka nisbet edildiğinde hepsi hayırdır. Arifler fillerin cümlesini Hakka nispet ederler. Yine de Allah kötü yaptı denilmez. Zira kötü ismini icat eden nispettir. Eğer işin kula nispeti olmamış olsa, o işin iyiliği ve fenalığı tayin olunamazdı. Şu ayetten anlıyoruz ki fiillerin faili Allah tır. Saffat Suresi 96. Allah sizleri ve sizlerin amellerinizi halk eyledi.
İşte salik Enfüsünde ve Afakında bütün fiilleri hissi ve kalbi olarak Hz. Allah a nispet ederse, Kalbi müşahede ile zevk haline geçer. Karşılaştığı her olayda fiillerin meydana gelmesine vesile olan mazhar veya kullara nispet etmeyeceği için şirkten kurtulan o salik; Hacivat ile Karagözün kendilerinin hiçbir güç ve kuvvet sahibi olmadıklarını, onları kavga ettirenin, onları oynatan sanatkarın olduğunu bildiği gibi, bilecektir. Her şeyi yerli yerinde görüp; Enfüsünde fark, (Şeriata uyup uymadığını tartması)kendi eksikleri varsa peyder pey onları yok etmesi,Nefsini levm etmesi lazımdır. Afakta ise Cemde (birlikte) mutala edip, mutlu olacaktır.

Bu salikler yaşamlarında sakin ve şeri hükümlere tabii olarak yaşarlar; bütün tecellilere nazar ederler ve zuhurata tabi olurlar.Cenabı hakka boyun bükmüş,ve tam teslimiyetle,kalbi ile daimi zikir,hissi ilede Rabıtayı kullanırlarsa, Efendisinin himmetiyle Tevhidi Efal zevkine ermiş olurlar.

TEVHİDİ SIFAT: Fenafillah mertebelerinin ikincisidir. Hayat, ilim, irade, kudret, semi, basar ve kelam sıfatları Hakkın olup, bu sıfatlar salike ayna olmakta ve orada Hz. Mevla müşahede edilmektedir. Burada salik zevken bu sıfatlar ile mevsuf olanın Hak Teala olduğunu bilecektir. Bunun için de bu mertebede 4 şuhut öğretilir: 1- Tevhidi Sıfat 2- Fenayı Sıfat 3- tecelli Sıfat 4- Cennetül Sıfat. Rabıta olarak ta La mevsufe illallah verilir. Bakara Suresi 255, Şuara 11 ve Kasas 68 gibi ayetlerde bütün subut (sabit) sıfatların halikinin Allah olduğunu anlamaktayız.
Sıfatlar gayba aittir, zuhura gelince şehadete intikal ederek esma adını alır. İlim bir sıfattır, zuhura gelince Alim adını aldığı gibi bu mertebeyi gören saliklerde edep, ahlak ve yüceliklerin görülmesi lazımdır. Zira fiil ve subut sıfatların nisbiyetlerinden kurtulan bir kulun mağfirete ermesi, temizlik, doğruluk ve Resulullah (S.A.V.) Efendimizin güzel ahlakını sergilemesi lazımdır. Efal ve Sıfat mertebelerini görenlere Tevhid de tarikat ehli de denilir.

TEVHİDİ ZAT: Tevhidi Zat, vücut birliği demektir. Vücut Hakkındır. Efalin vücudu yoktur. Sıfattan tecelli ediyordu. Sıfatın da vücudu yok o da vücuttan tecelli ediyor. Allah Vacibul Vücuttur. İşte salike fenafillah mertebelerinin sonuncusu olan Tevhidi Zat Mürşidi tarafından 4 şuhutla tarif edilir. 1- Tevhidi Zat 2- Fenayı Zat 3- Tecelliyi Zat 4- Cennetül Zat. Rabıtası ise La mevcude illallahdır.
Bu makamda salik hissen, aklen ve hayalen gerek Efal, gerek Sıfat ve gerekse Zat aynalarından Vücudullaha bağlanıp cümle eşyanın vücudu Hak olduğunu mülahaza eder ve zevk alır. Daimi zevkte kalabilmesi için Rabıtaya sımsıkı sarılır. Halkın fani Hakkın ise baki ve zahir olması halinde zevkidar olur. Bu halle hallenen kişi ihtiyari bir ölümle ölmüştür. Mutu kable ente mutu (H.Ş.) Ölmezden evvel ölme budur. Kasas Suresi 88, Rahman Suresi 26-27, Yunus Suresi 62. ayetlerinde açık olarak bu mertebenin halini görmekteyiz.
Bu Fenafillah mertebelerini gören bir salik Nefsini bildiği için Rabbini de tanımıştır. Nefsini bilen Rabbini bilir (H.Ş.) Her ne kadar ilimle Fenafillah olunmuşsa da yine de zaman zaman Nefsine tabiliğinden geçemediği için hem mahcubiyeti görülür; hemde makam zevkleri tecelli ettiğinde ehli keşiftirler. Yani halkla olduklarında hicapları, Hakla oldukları zaman keşifleri artar. Ehli velayettirler.

CEM MAKAMI: Beka makamlarının birincisidir. Fenafillah mertebelerini zevk edip kulun kendisinin zannettiği Fiil, Sıfat, ve Zatın da yok olduğunu anlayınca bu mertebe de telkin edilir.
Salik bu yerde Hakkı zahir Halkı batın müşahede edecektir. Bu makamda halk ayna olup, oradan Hak zahir olmaktadır. Ve Vahdet şuhudu kişiyi istila eder. Cem makamı telkin edilen salik Hakka kuvve olup onun kuvvesinden Hak zahir olurken, kendisi batın olur. Aynı zamanda eşya da butuna girer. Bir cismin gölgesinin, öğle vakti cisimde yok olduğu gibi halk mazharından Hakk ın zahir olmasıdır. Efalin, Sıfatın, Zatın birliği zevkiyle her nereye bakarsa Hakkın Cemal yüzünü görmesi onun zevki olacaktır. (Bakara Suresi 115). Saliki ismi ile çağırsalar ismini bile duyamayışı onun zevki olacaktır. Bu makama Kurbi Feraiz, Uluhiyyet, Ruh makamı gibi isimler de verilmiştir. Bu makamda salik fazla durdurulmaz. Salik kabızlık ve yalnızlık içindedir. Cem Makamı Hz. İsa A.S.ın makamıdır.

HAZRETÜL CEM MAKAMI: Bekabillah mertebelerinin ikincisidir. Bu makamda halk zahir Hak batındır. Hak aynasından halk zahir olarak müşahede edilir. Cem de bilen gören ve işiten abdın kuvvesiyle Hak idi; bu makam da ise, Hak kulun kuvvesi olmaktadır. Hadisi Kudside Kulum bana nevafille yaklaştığı zaman duymasına kulak, görmesine göz, konuşmasına dil olurum… buyurulmuştur. Her nereye nazar edersek edelim zahirde halkı batında ise Hakkın tecellisini zevk ve ifade ederiz. Necm Suresi 8. Sarktı-Fetadalla miraç ayeti Zat olan Allah ın Muhammed olan sıfatlara yani kesret alemine zuhuratı olarak da zevk edilir.
Hazretül Cem e bütün sıfatların, Zatı Hak ile kaim olduğunun müşahede ve zevk olduğu bir makam olması nedeniyle sıfatıyyun da denilir. Bu mertebedeki saliklerin şeriatlarında kemalat, yücelik ve ahlakı Resulullah (S.A.V.) görülmektedir. Bunlar Mukarribindirler.

CEMÜL CEM MAKAMI: Bekabilah mertebelerinin üçüncüsüdür. Makamı Cem ile Makamı Hazreti Cem i kendinde toplayan yani vahdet ve kesreti cem eden bir makamdır. Buna Tenzih ve Teşbihi Tevhid yapmak yeri de diyebiliriz. Batın olan mutlak ve zahir olan mukayyedin hepsi Haktır diye zevk ederiz.
Kur-an-ı Kerim Hadid Suresi 3. ayeti O evveldir, o Ahirdir, o zahirdir, o batındır bu zevkimize delildir. Ayrıca Necm suresi 9: da kabe kavseyn Celal ve Cemal yaylarının birleştiği Kalp mertebesi de denilir. Vahdet aynı kesret, kesret de aynı vahdet olarak zevk edilir. Tevhidi Efal mertebesinde fiillerden soyunan salik bu yerde Hakkın fillerini giyer. Peygamber ve Velilerin sırlarına vakıf olmak isteyenler bu makamı gerçek yönüyle zevk etmelidirler. İşte o zaman hafi şirklerin de tamamen yok olduğu bu yerde ibadet eden, ibadet ve ibadet edileni birlemişlerdir. Mürşid-i Kamillerin saliklere telkin ettikleri son mertebedir.

AHADİYETÜL CEM MAKAMI: Bekabillah mertebelerinin 4. ve sonuncusudur. Bu makam Makamı Muhammed dir. Makamı Mahmud da denilir. Kesret olan varlıklardan kaydın kaldırıldığı yerdir. Bundan sonra başka bir makam da yoktur, en yüce mertebedir. İbrahim (A.S.) Tevhid babası olduğu halde bu makama ancak Muhammed (SAV.) Efendimizin müsadeleri ile girebilir. 1- Ahadiyetül Ayn 2- Ahadiyetül Kesret diye iki kısımda mütala edilir. İhlas Suresi 1: Kul huvella hu ehad (de ki o Allahtır bir tektir) Enfal Suresi 17: Habibim sen attığın zaman sen atmadın ancak Allah attı İsra Suresi 34, Enam Suresi 152 ayetleri bu makamın zevkinin delilleridir.